发明名称 Process for producing a free-standing III-N layer, and free-standing III-N substrate
摘要
申请公布号 EP1801269(B1) 申请公布日期 2011.10.05
申请号 EP20060024629 申请日期 2006.11.28
申请人 FREIBERGER COMPOUND MATERIALS GMBH 发明人 LEIBIGER, GUNNAR, DR.;HABEL, FRANK;EICHLER, STEFAN, DR.
分类号 C30B29/40;C30B23/02;C30B25/02;H01L21/20 主分类号 C30B29/40
代理机构 代理人
主权项
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