一种高硬度低摩擦的光学窗口器件

摘要

本发明公开了一种高硬度低摩擦的光学窗口器件，包括光学材料基板和设置在光学材料基板上的保护层，特点是保护层包括一层厚度大于4000nm的复合镀层和一层增透层，复合镀层由多个组合单元层组成，组合单元层由厚度为10～120nm的氧化硅层和厚度为100～1000nm的碳化硅层构成，碳化硅层表面的颗粒嵌入氧化硅层，优点是具有高硬度和低摩擦系数且具有良好的可见光透过率，经测试，硬度可达到2000HV以上，摩擦系数小于0.2，且在620nm～670nm的光谱范围内的透过率达到85％左右，且制造方便，价格便宜，寿命可以达到在光学材料表面贴盖蓝宝石片的光学窗口器件的四分之一，而成本则相当于在光学材料表面贴盖蓝宝石片的光学窗口器件的十分之一。

主权项

一种高硬度低摩擦的光学窗口器件，包括光学材料基板和设置在所述的光学材料基板上的保护层，其特征在于所述的保护层包括一层厚度大于4000nm的复合镀层和一层增透层，所述的复合镀层由多个组合单元层组成，所述的组合单元层由厚度为10～120nm的氧化硅层和厚度为100～1000nm的碳化硅层构成，所述的碳化硅层表面的颗粒嵌入所述的氧化硅层。