一种全自动硅片上下料机

摘要

本实用新型公开了一种全自动硅片上下料机，包括框架、操作台面和吸盘操作装置，所述操作台面的两侧前方各设有一篮具托盘操作机构；所述篮具托盘操作机构的正后方均设有一传送带；在所述两个传送带的上方设有垂直于传送带运动方向的水平运动机构，在所述水平运动机构的前方及两个传送带的中间位置的操作台面上设有一矩形孔，矩形孔中设置有上料台位；设有由所述水平运动机构驱动的连杆机构，连杆机构的两端各设有1个吸盘操作装置；两个吸盘操作装置之间的间距等于传送带和上料台位之间的间距。本实用新型实现了左右两个吸盘操作装置交替循环地吸取硅片和放置硅片，其工作效率相当于现有全自动硅片上下料机的2倍，具有积极的现实意义。

主权项

一种全自动硅片上下料机，包括框架、操作台面(1)和吸盘操作装置(2)，所述操作台面的两侧前方各设有一篮具托盘操作机构；所述篮具托盘操作机构的正后方均设有一传送带(4)；在所述两个传送带的上方设有垂直于传送带运动方向的水平运动机构(5)，在所述水平运动机构的前方及两个传送带的中间位置的操作台面上设有一矩形孔，矩形孔中设置有上料台位(6)；其特征在于：设有由所述水平运动机构驱动的连杆机构(7)，连杆机构的两端各设有1个吸盘操作装置(2)；两个吸盘操作装置之间的间距等于传送带和上料台位之间的间距；还设有控制系统，所述水平运动机构、吸盘操作装置、篮具托盘操作机构、传送带均与控制系统连接。