可拆卸式进出气结构

摘要

本实用新型揭示一种可拆卸式进出气结构，应用于成膜装置。所述可拆卸式进出气结构包含板体、排气单元、成膜原料供应单元以及两锁固元件。其中，排气单元设置于板体的一端，且成膜原料供应单元设置于板体的另一端，两锁固元件分别将排气单元以及成膜原料供应单元锁固于板体上，因此本实用新型具有方便拆卸与方便清洗的功效。

主权项

一种可拆卸式进出气结构，用于一成膜装置，其特征在于该可拆卸式进出气结构包含：一板体；一排气单元，设置于该板体的一端，该排气单元包含：至少一抽气管，每一该抽气管包含一气体流量控制阀，且每一该抽气管共同连通于一抽气开口；及至少一隔板，用以使每两相邻的该抽气管间形成一抽气室；一成膜原料供应单元，设置于该板体中相对于该排气单元的另一端，该成膜原料供应单元包含一容室，该容室的侧面设有一原料供应孔；及两锁固元件，分别用以将该排气单元及该成膜原料供应单元锁固于该板体上。