液体喷射头及液体喷射装置和执行元件装置

摘要

本发明提供一种能够减小因反复驱动而引起的变位量的变化率，提高耐久性的液体喷射头及液体喷射装置和执行元件装置。该液体喷射头包括：流路形成基板(10)，其形成有与喷射液滴的喷嘴开口连通的压力发生室(12)；和压电元件(300)，其具备：第一电极(60)、形成在该第一电极上的具有由通式ABO3表示的钙钛矿构造的压电体层(70)、和形成在该压电体层的与第一电极相反侧的第二电极(80)；上述压电体层具有单斜晶系构造，上述第一电极(60)及上述第二电极(80)之间产生的电场的方向与上述压电体层的极矩的方向所成的角度，比上述压电体层的压电常数为极大时上述电场的方向与上述压电体层的极矩的方向所成的角度大。

主权项

一种液体喷射头，其特征在于，具备：流路形成基板，其形成有与喷射液滴的喷嘴开口连通的压力发生室；和压电元件，其具有：第一电极、形成在该第一电极上的具有由通式ABO3表示的钙钛矿构造的压电体层、以及形成在该压电体层的与所述第一电极相反侧的第二电极；所述压电体层具有单斜晶系构造，所述第一电极及所述第二电极之间产生的电场的方向与所述压电体层的极矩的方向所成的角度，比所述压电体层的压电常数为极大时所述电场的方向与所述压电体层的极矩的方向所成的角度大。