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<p>본 발명은 일반적으로 다양한 제조 공정들을 모니터링하는 데에 이용될 수 있는 적응성 계측 샘플링 계획들을 위한 다양한 방법들 및 시스템들에 관한 것이다. 일 예시적 실시예에서, 상기 방법은 복수의 계측 샘플링 룰들을 생성하는 단계와, 계측 샘플링 룰들 각각에 샘플링 가중치를 할당하는 단계와, 적어도 하나의 계측 샘플링 룰을 만족시키는 적어도 하나의 워크피스를 식별하는 단계와, 만족되는 계측 샘플링 룰들 각각에 대한 샘플링 가중치와 룰들을 만족시키는 식별된 워크피스들을 관련시키는 단계와, 그리고 샘플링 가중치의 누적 합계가 사전-설정된 트리거 값 이상일 때, 계측 동작이 수행되어야 함을 지시하는 단계를 포함한다. 추가 실시예들에서, 상기 방법은 계측 샘플링 룰들 중 하나에 대한 샘플링 가중치의 누적 합계가 사전-설정된 트리거 값 이상일 때, 계측 동작이 수행되어야 함을 지시하는 단계 또는 워크피스들 중 하나에 대한 샘플링 가중치의 누적 합계가 사전-설정된 트리거 값 이상일 때, 계측 동작이 수행되어야 함을 지시하는 단계를 포함한다.</p> |
