| 摘要 |
<p>종래에 비해 더욱 정밀도 좋게 온도를 측정할 수 있고, 더욱 정밀도 좋고 또한 효율 좋게 기판 처리 등을 실행할 수 있는 온도 측정 장치 및 온도 측정 방법을 제공한다. 광원(110)으로부터의 광을 측정광과 참조광으로 나누기 위한 제 1 스플리터(120)와, 참조광을 반사하기 위한 참조광 반사 수단(140)과, 참조광의 광로길이를 변화시키기 위한 광로길이 변화 수단(150)과, 참조광 반사 수단(140)으로부터의 반사 참조광을 나누기 위한 제 2 스플리터(121)와, 온도 측정 대상물(10)로부터의 반사 측정광과 반사 참조광의 간섭을 측정하기 위한 제 1 광검출기(160)와, 반사 참조광만의 강도를 측정하기 위한 제 2 광검출기(161)와, 제 1 광검출기(160)의 출력에서 제 2 광검출기(161)의 출력을 감산한 후, 간섭 위치를 산출하고 온도를 산출하는 콘트롤러(170)를 구비한 온도 측정 장치.</p> |
