发明名称 Bump forming apparatus and method for forming bump using the same
摘要 <p>본 발명의 일 실시예에 따르면, 반도체 웨이퍼 또는 인쇄 회로 기판과 같은 기판의 전극 패드 상에 균일한 크기의 범프를 형성할 수 있는 범프 형성 장치 및 이를 이용한 범프 형성 방법을 제공할 수 있다.</p>
申请公布号 KR101069973(B1) 申请公布日期 2011.10.04
申请号 KR20090067572 申请日期 2009.07.24
申请人 发明人
分类号 H01L23/48 主分类号 H01L23/48
代理机构 代理人
主权项
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