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发明名称
Bump forming apparatus and method for forming bump using the same
摘要
<p>본 발명의 일 실시예에 따르면, 반도체 웨이퍼 또는 인쇄 회로 기판과 같은 기판의 전극 패드 상에 균일한 크기의 범프를 형성할 수 있는 범프 형성 장치 및 이를 이용한 범프 형성 방법을 제공할 수 있다.</p>
申请公布号
KR101069973(B1)
申请公布日期
2011.10.04
申请号
KR20090067572
申请日期
2009.07.24
申请人
发明人
分类号
H01L23/48
主分类号
H01L23/48
代理机构
代理人
主权项
地址
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