| 主权项 |
一种光阻保护膜材料，其特征系含有具下述一般式(2)所示重覆单位、及由具有下述全氟烷基之重复单位所选出之至少1种或2种以上之重覆单位之高分子化合物，@sIMGTIF!d10003.TIF@eIMG!(式中，R0为氟原子、R1为碳数1~6之直链状或支链状之烷基或伸烷基之至少含有1个以上之氟原子，R2为碳数1~10之直链状、支链状或环状之伸烷基或次烷基，亦可具有氟原子，键结R0或R1形成环亦可，或R1与R2键结后，与键结此等之碳原子同时形成环亦可，形成环时，R1为碳数1~6之直链状或支链状之伸烷基，R2为碳数1~10之直链状或支链状之次烷基，R3、R4为氢原子、氟原子、甲基或三氟甲基、X为-O-、-C(=O)-O-、或-C(=O)-O-R5-C(=O)-O-，R5 |
