| 发明名称 |
排气装置、包含该排气装置的基板处理装置以及排气方法 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI349964 |
申请公布日期 |
2011.10.01 |
| 申请号 |
TW097107727 |
申请日期 |
2008.03.05 |
| 申请人 |
ＰＳＫ有限公司 南韓 |
发明人 |
朴正 |
| 分类号 |
H01L21/306;H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
| 主权项 |
一种排气装置，其特征在于包括：排气管，其连结于处理腔室，将上述处理腔室内的反应副产物排出；容器形状的捕集筒，其连结于在上述排气管的侧壁上所形成的排出口上，并捕集上述排气管内的反应副产物；以及缔结构件，其连结于上述捕集筒，并将上述捕集筒连结于上述排出口上。 |
| 地址 |
南韩 |
