| 主权项 |
一种形成鳍式场效电晶体之方法，包括：形成鳍状物(205)；在该鳍状物(205)的第一末端上形成源极区(210)，并在该鳍状物(205)的第二末端上形成汲极区(215)；在该鳍状物(205)、源极区(210)及汲极区(215)的上表面之上形成氧化物覆盖层(220)；在形成该氧化物覆盖层(220)后，在该鳍状物(205)、源极区(210)及汲极区(215)上形成牺牲氧化物层(305)；去除该牺牲氧化物层(305)以自该鳍状物(205)的表面去除瑕疵；在该鳍状物(205)之上在第一图样中形成具有第一半导电材料的假闸极(505)；在该假闸极(505)的周围形成介电层(605)；去除该第一半导电材料，而在该介电层(605)中留下对应于该第一图样的沟槽(705)；削薄该沟槽(705)内露出的该鳍状物(205)之一部分；在该沟槽(705)内露出的该鳍状物(205)的表面上形成闸极绝缘层(910)；以及在该闸极绝缘层(910)之上在该沟槽(705)内形成金属闸极(1005)。 |
