制作具金字塔结构之矽基板的蚀刻方法及其装置

主权项

一种制作具金字塔结构之矽基板的蚀刻方法，其包含步骤：将一矽基板置放于一底座上，并藉由数个间隔单元将一气泡控制单元设置于该底座之上方；将该底座置放于一蚀刻液中进行蚀刻反应并产生数个气泡，且该蚀刻反应所产生之气泡局限于该气泡控制单元内；及进行蚀刻反应至该底座之表面形成数个金字塔结构后，将该底座连同该矽基板由该蚀刻液中取出清洗。