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发明名称 防止光罩雾化之方法
摘要
申请公布号 TWI349643 申请公布日期 2011.10.01
申请号 TW095137970 申请日期 2006.10.14
申请人 台灣積體電路製造股份有限公司 新竹市新竹科學工業園區力行六路8號 发明人 梁硕元;郑智文 台南市东区崇德四街7巷29号;陈信元;陈崇仁;李智富 屏东县屏东市龙华路282巷68号;王志谦 彰化县彰化市中山路3段518巷6之5号;何俊宜 台南市官田区湖山里100之5号
分类号 B65D85/00;H01L21/027 主分类号 B65D85/00
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项 一种防止光罩雾化之方法，至少包含：将一光罩置入一光罩传送盒，其中该光罩传送盒具有一内部区域以容置该光罩；以及用一硫化物吸收成分处理该内部区域的一内表面和该光罩的一表面。
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号
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