薄片剥离装置及剥离方法

主权项

一种薄片剥离装置，系具有：支持黏贴有薄片的剥离对象物的剥离用胶带；及可相对移动地沿着上述剥离对象物的面设置的薄片剥离单元，且藉着将从该薄片剥离单元吐出的剥离用胶带与薄片黏合而卷绕，就可剥离该薄片之剥离装置，其特征为：上述薄片剥离单元系具有：剥离用胶带的供给部；使剥离用胶带与薄片的面相接的第1辊子；于使该第1辊子与薄片相接的位置，在该薄片之间形成间隙的第2辊子；以及上述剥离用胶带卷绕部，使上述第1辊子与第2辊子之间的剥离用胶带部分松弛，在第2辊子与薄片之间，使剥离用胶带朝反转的方向弯折，就可形成初期剥离角度，在上述初期剥离角度剥离薄片之后，在上述第2辊子以小于初期剥离角度的次期剥离角度，使薄片可剥离。