| 发明名称 |
正型光阻之组成物及其制成正型光阻薄膜 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI349834 |
申请公布日期 |
2011.10.01 |
| 申请号 |
TW096112868 |
申请日期 |
2007.04.12 |
| 申请人 |
克隆工業有限公司 南韓 |
发明人 |
金炳基 南韩;朴世烔 南韩;李炳逸 南韩;朴锺旼 南韩;宋锡政 南韩 |
| 分类号 |
G03F7/039;G03F7/022;G03F7/035;G03F7/09 |
主分类号 |
G03F7/039 |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈启舜 高雄市苓雅区中正一路284号12楼 |
| 主权项 |
一种正型光阻之组成物，其包含：一硷溶性树脂；一正型感光化合物；一热固性交联剂；一感光增强剂；及一溶剂，其中，该硷溶性树脂系为硷溶性甲酚酚醛清漆树脂，系具有一重量平均分子量〔以凝胶液相层析法(GPC)为基准〕，且该重量平均分子量系介于2000至30000之范围。 |
| 地址 |
南韩 |
