直立式基板湿制程浸泡装置

主权项

一种直立式基板湿制程浸泡装置，其包括一主箱体、一输送轮组以及二喷流组件，其中：主箱体的两相对侧分别形成一入口及一出口，该主箱体的中段处设有一加工槽，该加工槽底侧设有一与该加工槽相连通的集液槽，另于该主箱体上设有二承架，该承架横向架设于该主箱体之入口与出口之间，且分别位于靠近该主箱体之顶部及底部处；输送轮组架设于该主箱体之二承架上，该输送轮组包括复数个传动轮轴以及复数个调整轮轴，该传动轮轴与调整轮轴系可转动地垂直架设于该二承架之间，且间隔排列设置于该主箱体之入口与出口间，传动轮轴与调整轮轴的两端分别穿设于该二承架，且每一调整轮轴对应一传动轮轴；以及喷流组件设于该主箱体之加工槽中，且分别位于该传动轮轴与调整轮轴的两侧，每一喷流组件包含一外侧板、一内侧板与二挡水板，该外侧板与内侧板间隔设置，该外侧板与内侧板之间在周缘处形成封闭并相互结合，二者之间形成一分流空间，又，该外侧板上设有至少一输液管，该输液管的一端与该分流空间相连通，另一端经由一汲液装置与该集液槽相连通，该内侧板面对该传动轮轴与调整轮轴，该内侧板上密布有复数个喷流孔，该挡水板具弹性，其系分别沿纵向固设于该相结合之外、内侧板的两侧，且分别贴靠于相对应之传动轮轴与调整轮轴上。