硒蒸气快速结晶退火炉结构

主权项

一种硒蒸气快速结晶退火炉结构，用以提供对具有铜铟镓硒层的一基板进行快速结晶退火处理，该硒蒸气快速结晶退火炉结构包括：一硒蒸气输送管路单元，用以将外部输入的高温硒蒸气输送出去；一硒蒸气喷洒头单元，连结至该硒蒸气输送管路单元，用以接收该硒蒸气输送管路单元所输送的硒蒸气，并将该硒蒸气喷洒至该基板上的铜铟镓硒层；以及一真空腔体，系具有一真空度，用以容置该硒蒸气喷洒头单元以及该基板，且该该真空腔体具有由透明材料所构成的一透明窗口，系用以让外部的热辐射经该透明窗口而对该基板进行加热。