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发明名称
NAND FLASH MEMORY ARRAY HAVING PILLAR TYPE SINGLE CRYSTAL CHANNEL AND VIRTUAL SOURCE/DRAIN AND FABRICATION METHOD OF THE SAME
摘要
申请公布号
KR101069420(B1)
申请公布日期
2011.09.30
申请号
KR20090094928
申请日期
2009.10.07
申请人
发明人
分类号
H01L27/115;H01L21/8247
主分类号
H01L27/115
代理机构
代理人
主权项
地址
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