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发明名称
SINGLE ELECTRON TRANSISTOR WITH VERTICAL QUANTUM DOT AND FABRICATION METHOD OF THE SAME
摘要
申请公布号
KR101069361(B1)
申请公布日期
2011.09.30
申请号
KR20090062606
申请日期
2009.07.09
申请人
发明人
分类号
H01L29/06;H01L29/775
主分类号
H01L29/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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