发明名称 Method for fabricating isolation layer in semiconductor device
摘要
申请公布号 KR101069437(B1) 申请公布日期 2011.09.30
申请号 KR20090070762 申请日期 2009.07.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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