| 发明名称 |
PROCEDE POUR GRAVER UNE COUCHE D'OXYDE METALLIQUE CONDUCTEUR UTILISANT UNE MICROELECTRODE |
| 摘要 |
<p>L'invention concerne un procédé pour graver une zone sélectionnée d'une couche d'oxyde métallique conducteur déposée sur un support, consistant à éliminer ladite zone par voie électrochimique en présence d'une microélectrode polarisée. La présente invention concerne également la couche gravée obtenue par un tel procédé.</p> |
| 申请公布号 |
FR2957941(A1) |
申请公布日期 |
2011.09.30 |
| 申请号 |
FR20100052227 |
申请日期 |
2010.03.26 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES |
发明人 |
METAYE ROMAIN;GRISOTTO FEDERICO |
| 分类号 |
C25F3/14;C25F3/12;H01L21/3063 |
主分类号 |
C25F3/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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