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发明名称 Apparatus and method of transferring a substrate
摘要
申请公布号 KR101068875(B1) 申请公布日期 2011.09.30
申请号 KR20080117913 申请日期 2008.11.26
申请人 发明人
分类号 B65G49/07;B65G39/04;B65G39/18 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
主权项
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