首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
SPUTTERING TARGET AND METHOD FOR PROCESSING SPUTTERING TARGET
摘要
申请公布号
KR20110106920(A)
申请公布日期
2011.09.29
申请号
KR20117018527
申请日期
2010.05.18
申请人
ULVAC, INC.
发明人
OHBA AKIRA;NITTA JUNICHI;HARADA NOBUHIRO;KIM, POONG;MIHARA YASUO
分类号
C23C14/34;H01L21/285
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
