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Die Anmeldung beschreibt eine Elektrodenanordnung zum Einsatz in einem CVD-Reaktor/Konverter, die ein Schaftteil aus elektrisch leitendem Material, ein Kopfteil aus elektrisch leitendem Material, das elektrisch leitend mit dem Schaftteil verbunden ist und eine axial in Richtung zum Schaftteil weisende Dichtfläche aufweist, und eine Vorspanneinheit aufweist. Die Vorspanneinheit ist mit dem Schaftteil koppelbar und weist wenigstens ein elastisches Element und eine Stelleinheit, wobei die Stelleinheit Stellmittel aufweist, die geeignet sind das elastische Element derart zwischen zwei Gegenlagern zusammenzudrücken, dass eine Rückstellkraft des elastischen Elements in Axialrichtung des Schaftteils wirkt, um die axial weisende Dichtfläche am Kopfteil gegen eine Gegendichtfläche vorzuspannen. Es ist auch eine Elektrodenanordnung zum Einsatz in einem CVD-Reaktor/Konverter beschrieben, wobei die Elektrodenanordnung ein Schaftteil aus einem ersten, elektrisch leitenden Material und ein Kopfteil aus einem zweiten, elektrisch leitenden Material aufweist, wobei das Kopfteil vollständig aus dem zweiten elektrisch leitenden Material besteht, das sich von dem ersten Material unterscheidet und Prozesse innerhalb des CVD Reaktors/Konverters nicht negativ beeinflusst, und wobei das Kopfteil lösbar in einer elektrisch leitenden Beziehung an einem ersten Ende des Schaftteils befestigt ist. Ferner ist ein CVD-Reaktor/Konverter mit einer einen Prozessraum definierenden Prozesskammer beschrieben, die in Ihrem Boden wenigstens eine Durchführöffnung aufweist, in der eine Elektrodenanordnung der oben beschriebenen Art derart aufgenommen ist, dass das Kopfteil wenigstens teilweise im Prozessraum aufgenommen ist und das Schaftteil wenigstens teilweise in der Durchführöffnung aufgenommen ist und außerhalb des Prozessraums liegt.
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