发明名称 Dünnfilm-Natriumspezies-Sperrschicht-Verfahren und eine Struktur für eine Dünnfilm-Photovoltaikzelle auf CIGS-Basis
摘要 Ein Verfahren zur Herstellung einer Dünnfilm-Solarzelle enthält das Bereitstellen eines Natron-Kalk-Glas-Substrats, das eine Oberflächenregion und eine Konzentration von Natriumoxid von höher als etwa 10 Gewichts-% umfasst, und das Behandeln der Oberflächenregion mit einem oder mehreren Reinigungsprozessen unter Verwendung einer Spülung aus entionisiertem Wasser, um Oberflächenverunreinigungen mit einer Teilchengröße von größer als drei Mikron zu entfernen. Das Verfahren enthält des Weiteren das Ausbilden einer Sperrschicht über der Oberflächenregion, das Ausbilden einer ersten Molybdänschicht in einer Zugbeanspruchungskonfiguration über der Sperrschicht, und das Ausbilden einer zweiten Molybdänschicht in Druckbeanspruchungskonfiguration unter Verwendung eines zweiten Prozesses über der ersten Molybdänschicht. Außerdem enthält das Verfahren das Strukturieren der ersten Molybdänschicht und der zweiten Molybdänschicht zum Ausbilden einer unteren Elektrodenschicht und das Ausbilden einer Schicht aus Photovoltaikmaterial über der unteren Elektrodenschicht. Darüber hinaus enthält das Verfahren das Ausbilden einer ersten Zinkoxidschicht über der Schicht aus Photovoltaikmaterialien.
申请公布号 DE112009002289(T5) 申请公布日期 2011.09.29
申请号 DE20091102289T 申请日期 2009.09.30
申请人 STION CORPORATION 发明人 WIETING, ROBERT D.
分类号 H01L31/00 主分类号 H01L31/00
代理机构 代理人
主权项
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