发明名称 |
Hochleistungs-Seed-/Verstärkerlasersystem mit Strahlformung zwichen Seed und Verstärker |
摘要 |
<p>Bereitgestellt werden eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Betreiben einer Hochleistungs-Breitband-Laserglühlichtquelle mit länglichem, dünnem Strahl, die enthalten kann: einen Gasentladungs-Seedlaser-Oszillator mit einem Resonanzhohlraum zur Bereitstellung eines Seedlaser-Ausgabepulses; einen Gasentladungsverstärkerlaser zum Verstärken des Seedlaser-Ausgabepulses zur Bereitstellung einer verstärkten Seedlaser-Pulsausgabe; eine divergenzkorrigierende optische Anordnung mit multioptischem Element zwischen dem Seedlaser und dem Verstärkerlaser. Die divergenzkorrigierende optische Anordnung kann die Größe und/oder Form des Seedlaser-Ausgabepulses innerhalb eines Entladungsbereiches des Verstärkerlasers anpassen, um einen Ausgabeparameter der Ausgabe des verstärkten Seedlaser-Pulses anzupassen. Die divergenzkorrigierende optische Anordnung kann ein Teleskop mit einem anpassbaren Fokus umfassen. Das anpassbare Teleskop kann einen aktivrückkopplungsgesteuerten Betätiger auf Grundlage eines erfassten Parameters der verstärkten Seedlaser-Ausgabe aus dem Verstärkerlaser umfassen.</p> |
申请公布号 |
DE112009002236(T5) |
申请公布日期 |
2011.09.29 |
申请号 |
DE20091102236T |
申请日期 |
2009.09.16 |
申请人 |
CYMER, INC. |
发明人 |
SANDSTROM, RICHARD L.;BROWN, DANIEL J.W.;HOFMANN, THOMAS;ROBINSON, JASON D.;UNICK, GRAIG W. |
分类号 |
H01S3/22 |
主分类号 |
H01S3/22 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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