发明名称 Hochleistungs-Seed-/Verstärkerlasersystem mit Strahlformung zwichen Seed und Verstärker
摘要 <p>Bereitgestellt werden eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Betreiben einer Hochleistungs-Breitband-Laserglühlichtquelle mit länglichem, dünnem Strahl, die enthalten kann: einen Gasentladungs-Seedlaser-Oszillator mit einem Resonanzhohlraum zur Bereitstellung eines Seedlaser-Ausgabepulses; einen Gasentladungsverstärkerlaser zum Verstärken des Seedlaser-Ausgabepulses zur Bereitstellung einer verstärkten Seedlaser-Pulsausgabe; eine divergenzkorrigierende optische Anordnung mit multioptischem Element zwischen dem Seedlaser und dem Verstärkerlaser. Die divergenzkorrigierende optische Anordnung kann die Größe und/oder Form des Seedlaser-Ausgabepulses innerhalb eines Entladungsbereiches des Verstärkerlasers anpassen, um einen Ausgabeparameter der Ausgabe des verstärkten Seedlaser-Pulses anzupassen. Die divergenzkorrigierende optische Anordnung kann ein Teleskop mit einem anpassbaren Fokus umfassen. Das anpassbare Teleskop kann einen aktivrückkopplungsgesteuerten Betätiger auf Grundlage eines erfassten Parameters der verstärkten Seedlaser-Ausgabe aus dem Verstärkerlaser umfassen.</p>
申请公布号 DE112009002236(T5) 申请公布日期 2011.09.29
申请号 DE20091102236T 申请日期 2009.09.16
申请人 CYMER, INC. 发明人 SANDSTROM, RICHARD L.;BROWN, DANIEL J.W.;HOFMANN, THOMAS;ROBINSON, JASON D.;UNICK, GRAIG W.
分类号 H01S3/22 主分类号 H01S3/22
代理机构 代理人
主权项
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