基于电荷耦合器件的绝对编码光栅相位细分方法

摘要

一种基于电荷耦合器件(简称CCD)的绝对编码光栅相位细分方法，步骤依次如下：(1)用CCD读数头读取绝对编码光栅的码道图形，(2)对所获绝对编码光栅码道图形中的一行最低码道图形形成的周期离散空间函数序列进行傅里叶变换得到其频谱分布，(3)取出步骤(2)所得频谱分布的基频分量，(4)对步骤(3)所得基频分量作逆傅里叶变换得到基波信号及其相位，(5)将步骤(4)所得基波信号用N个周期相位展成连续相位，(6)用所述连续相位的平均值表达绝对编码光栅中最低码道图形的测量分辨率。此种方法可实现对像素的细分，大大提高绝对编码光栅的分辨率和测量精度。

主权项

一种用于线性位移测量的基于电荷耦合器件的绝对编码光栅相位细分方法，其特征在于步骤依次如下：(1)用电荷耦合器件读数头读取绝对编码光栅的码道图形，(2)对所获绝对编码光栅码道图形中的一行最低码道图形形成的周期离散空间函数序列进行傅里叶变换得到其频谱分布，(3)取出步骤(2)所得频谱分布的基频分量，(4)对步骤(3)所得基频分量作逆傅里叶变换得到基波信号及其相位，(5)将步骤(4)所得基波信号用N个周期相位展成连续相位，所述N个周期相位中的“N”为正整数，在每周期图形覆盖10个像素的基础上，N的取值为30～80，(6)用所述连续相位的平均值表达绝对编码光栅中最低码道图形的测量分辨率。