机电传感器和电子装置

摘要

传感器(1)包括沿具有长度(1)的纵向延伸的导电谐振元件(20)。它可以被导电致动器(30)弹性形变，使得该弹性形变包括长度的变化(d1)。谐振元件(20)电连接到第一接触区域(25)以及第二接触区域(26)，由此构成电路。在该电路中，谐振元件(20)构成具有欧姆电阻(R)的电阻器，电阻(R)是长度(1+d1)的函数。传感器(1)还包括电连接到该电路的测量点(28)，用于提供作为电阻(R)的函数的电信号。

主权项

一种机电传感器(1)，用于将电输入信号转换成电输出信号，该传感器包括：衬底(10)，附着到衬底(10)的导电谐振元件(20)，导电谐振元件(20)沿具有长度(l)的纵向方向延伸，并且包括具有欧姆电阻的电阻器，所述输出信号是所述欧姆电阻的函数；以及导电致动器(30)，能够接收相对于导电谐振元件的电致动电势差，其特征在于：所述导电谐振元件的外部末端没有与衬底接触，每一个所述外部末端与面对所述外部末端的导电致动器的相应电极分开一间隙；所述导电致动器(30)配置用于引起导电谐振元件(20)的弹性形变，该致动电势差是输入信号的函数，该弹性形变包括长度(l)的变化(d1)，所述欧姆电阻是所述长度(l)的变化(d1)的函数。