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发明名称 MULTICOLUMN ELECTRON BEAM EXPOSURE APPARATUS AND MAGNETIC FIELD GENERATING APPARATUS
摘要
申请公布号 EP2302664(A4) 申请公布日期 2011.09.28
申请号 EP20080790570 申请日期 2008.06.24
申请人 ADVANTEST CORPORATION 发明人 YASUDA, HIROSHI;OOAE, YOSHIHISA;HARAGUCHI, TAKESHI
分类号 H01J37/143;H01J37/14;H01J37/317 主分类号 H01J37/143
代理机构 代理人
主权项
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