| 发明名称 | 亲水性单体、亲水性光阻剂组成物及光阻图形形成方法 | ||
| 摘要 | 本发明在提供一种亲水性单体，以及含有该亲水性单体的亲水性光阻剂组成物。上述光阻剂组成物还包含有一亲水性树脂，而该亲水性单体与该亲水性树脂分别具有亲水性官能基，可与水分子作用而溶解于纯水。本发明还提供一种光阻图形的形成方法，包括涂布亲水性光阻剂组成物于基材的表面，形成一光阻层；藉此，可利用纯水对该光阻层进行显影洗净，以克服公知技术中须使用碱性显影化学溶液所致生的环境破坏，并且降低使用碱性显影剂的成本，提升微影制程的效益。 | ||
| 申请公布号 | CN102199282A | 申请公布日期 | 2011.09.28 |
| 申请号 | CN201110053829.4 | 申请日期 | 2011.03.07 |
| 申请人 | 华映视讯（吴江）有限公司;中华映管股份有限公司 | 发明人 | 汤逢锦;谢文仁;陈建廷 |
| 分类号 | C08G65/00(2006.01)I;C07C69/54(2006.01)I;C07C219/20(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/027(2006.01)I | 主分类号 | C08G65/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人 | 胡晶 |
| 主权项 | 1.一种式I所示的亲水性单体，其特征在于， <img file="345037DEST_PATH_IMAGE001.GIF" wi="340" he="278" />R<sub>1</sub>为n个聚氧乙烯基，或-(OC<sub>2</sub>H<sub>2</sub>NHC<sub>2</sub>H<sub>2</sub>)<sub>m</sub>；R<sub>2</sub>为氢或甲烷基；n是1到20的自然数；以及m是1到20的自然数。 | ||
| 地址 | 215217 江苏省苏州市吴江经济开发区同里分区江兴东路88号 | ||