发明名称 玻璃-陶瓷基绝缘体上半导体结构及其制造方法
摘要 本发明涉及一种绝缘体上半导体结构,该结构包括:半导体部件,该半导体部件由基本单晶的半导体材料层和具有提高的氧含量的单晶半导体材料层组成;氧化物玻璃材料层;以及玻璃-陶瓷层。
申请公布号 CN102203932A 申请公布日期 2011.09.28
申请号 CN200980143693.7 申请日期 2009.09.25
申请人 康宁股份有限公司 发明人 K·P·加德卡里;L·R·平克尼
分类号 H01L21/762(2006.01)I 主分类号 H01L21/762(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人 沙永生
主权项 一种绝缘体上半导体层状结构,其包括:半导体材料部件,其包括基本单晶的半导体材料层,以及具有提高的氧含量的单晶半导体材料层;氧化物玻璃材料层;和玻璃‑陶瓷层。
地址 美国纽约州