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发明名称 Apparatus for fabrication of thin films
摘要
申请公布号 EP1052309(B1) 申请公布日期 2011.09.28
申请号 EP20000660085 申请日期 2000.05.10
申请人 ASM INTERNATIONAL N.V. 发明人 BONDESTAM, NIKLAS;KESAELAE, JANNE;KETO, LEIF;SOININEN, PEKKA T.
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C30B25/02;C30B25/08;C30B25/12;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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