发明名称 | 一种提高钢铁材料表面硬度和耐磨性的方法 | ||
摘要 | 一种提高钢铁材料表面硬度和耐磨性的方法,包括如下步骤:1)基材导入溅射室内,溅射室内工作真空度0.1~100Pa;2)通入介质气体,使溅射室达到并维持工作真空度0.1~100Pa;3)在外加电源作用下,把介质气体电离成荷能离子,并调节电压100~2000V和电流0.01A~5A,使溅射功率密度保持在0.1~30W/cm2;4)用离子流对基材表面进行持续的溅射蚀刻处理0.01~10h,基材表面生成高硬度和优良耐磨性的薄膜,厚度为0.001~100μm;5)处理结束后基材自溅射室中导出,基材获得溅射蚀刻改性表面。本发明方法在钢铁材料表面形成高硬度和优良耐磨性的薄膜。若再引入反应性气体,更能生成金属间化合物来提高硬度和耐磨性。 | ||
申请公布号 | CN102199762A | 申请公布日期 | 2011.09.28 |
申请号 | CN201010133790.2 | 申请日期 | 2010.03.26 |
申请人 | 宝山钢铁股份有限公司 | 发明人 | 张清廉 |
分类号 | C23C16/50(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/50(2006.01)I |
代理机构 | 上海开祺知识产权代理有限公司 31114 | 代理人 | 竺明 |
主权项 | 一种提高钢铁材料表面硬度和耐磨性的方法,其包括如下步骤:1)基材导入溅射室内,溅射室内工作真空度0.1~100Pa;2)通入介质气体,调节通入介质气体的压力、流量以及真空阀门的开启度,使溅射室达到并维持工作真空度0.1~100Pa;3)在外加电源作用下,把介质气体电离成荷能离子,并调节电压100~2000V和电流0.01A~5A,使溅射功率密度保持在0.1~30W/cm2;4)用离子流对基材表面进行持续的溅射蚀刻处理0.01~10h,基材表面生成高硬度和优良耐磨性的薄膜,厚度为0.001~100μm;5)处理结束后,基材自溅射室中导出,基材获得溅射蚀刻改性表面。 | ||
地址 | 201900 上海市牡丹江路1813号南楼 |