压电振动器、振荡器、电子设备、电波钟以及压电振动器的制造方法

摘要

本发明的压电振动器，其中包括：互相接合并在其间形成有空腔的基底基板及盖基板；形成在基底基板的下表面的外部电极；以收容于空腔内的方式形成在基底基板的上表面的内部电极；以贯通基底基板的方式形成并电连接外部电极和内部电极的贯通电极；以与内部电极电连接的状态被收容于空腔内的压电振动片；以及用铬或以铬为主要成分的金属材料形成在空腔内的吸气材料。

主权项

一种压电振动器的制造方法，制造这样的压电振动器，其包括：互相接合并在其间形成有空腔的基底基板及盖基板；形成在所述基底基板的下表面的外部电极；以收容于所述空腔内的方式形成在所述基底基板的上表面的内部电极；以贯通所述基底基板的方式形成并电连接所述外部电极与所述内部电极的贯通电极；以与所述内部电极电连接的状态被收容于所述空腔内的压电振动片；以及形成在所述空腔内的吸气材料，所述制造方法的特征在于，所述吸气材料由铬或以铬为主要成分的金属材料形成。