发明名称 压印平版印刷术系统和方法
摘要 使用可控的基底和/或模板的变形来压印基底的系统、方法和过程。在压印平版印刷术过程中,基底和/或模板可定位成单波形态或双波形态。
申请公布号 CN102203672A 申请公布日期 2011.09.28
申请号 CN200980142766.0 申请日期 2009.10.21
申请人 分子制模股份有限公司 发明人 M·加纳帕斯苏伯拉曼尼安;崔炳镇;M·J·美斯尔
分类号 G03F7/00(2006.01)I 主分类号 G03F7/00(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人 茅翊忞
主权项 一种装置,包括:适于支承基底的真空卡盘,所述真空卡盘具有:适于支承所述基底的外直径的外凸台,所述外凸台具有第一高度;以及适于支承所述基底的内直径的内凸台,所述内凸台具有第二高度;其中,确定所述第一高度和所述第二高度以提供单波形态的基底。
地址 美国得克萨斯州