发明名称 晶圆级转接板结构
摘要 本实用新型涉及一种晶圆级转接板结构,属于集成电路或分立器件封装技术领域。所述转接板包括转接板基体(1-1),在转接板基体(1-1)内设置有金属柱阵列(1-2),在转接板基体(1-1)表面设置有金属再布线图形(1-3A、1-3B)和金属再布线保护层及开口图形(1-4A、1-4B)。本实用新型的晶圆级转接板,可极大程度的降低工艺难度和工艺成本,可实现高密度转接板技术的规模化生产。
申请公布号 CN201994289U 申请公布日期 2011.09.28
申请号 CN201120033894.6 申请日期 2011.01.31
申请人 江阴长电先进封装有限公司 发明人 张黎;赖志明;陈栋;陈锦辉
分类号 H01L23/498(2006.01)I 主分类号 H01L23/498(2006.01)I
代理机构 江阴市同盛专利事务所 32210 代理人 唐纫兰
主权项 一种晶圆级转接板结构,其特征在于:所述转接板包括转接板基体(1 1),在转接板基体(1 1)内设置有金属柱阵列(1 2),在转接板基体(1 1)表面设置有金属再布线图形(1 3A、1 3B)和金属再布线保护层及开口图形(1 4A、1 4B)。
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