一种用于量化透明基板中的缺陷的方法

摘要

本发明公开了一种用于检测和量化透明基板，由其是检测玻璃基板中的缺陷的方法。该方法包括提供具有顶表面和底表面的透明平面基板。测量所提供的透明平面基板的顶表面的至少一部分的表面形貌以获得具有亚纳米级精确度的三维顶表面轮廓图。根据三维表面轮廓图测量结果，可识别和/或量化该三维表面轮廓图中存在的具有大于预定公差的幅值的一个或多个表面变化。

主权项

一种用于量化透明平面基板中的缺陷的方法，包括以下步骤：提供具有顶表面和底表面的透明平面基板；测量所述透明平面基板的顶表面的至少一部分的表面形貌，以获得具有亚纳米级精确度的三维顶表面轮廓图；以及识别所述三维顶表面轮廓图中的具有大于预定公差的幅值的一个或多个表面变化，从而量化所述透明平面基板的顶表面中的一个或多个顶表面缺陷，其中，在识别一个或多个表面变化之前，首先计算所述三维顶表面轮廓图的导数，所述导数对应于所述表面形貌对所述三维顶表面轮廓图中选定距离内的变化率，其中，所识别出的一个或多个表面变化的幅值根据所确定的导数来确定。