用于化学气相沉积设备的射频电源连接机构

摘要

本实用新型涉及一种用于化学气相沉积设备的射频电源连接机构，属于太阳电池技术领域。射频电源连接机构，包括射频电源、安装在沉积夹具上的阴极板，该阴极板通过连接机构与射频电源连接，其特征在于所述连接机构包括定位部件、调整偏差部件、至少两块射频电源接口固定板、阴极板接口固定板，所述调整偏差部件连接在两块射频电源接口固定板之间，射频电源接口与阴极板接口由定位部件定位对接，且由调整偏差部件调整对接偏差。本实用新型结构简单、能实现阴极板接口和射频电源接口准确定位，并快速、稳固地实现接口对接。

主权项

一种用于化学气相沉积设备的射频电源连接机构，包括射频电源、安装在沉积夹具上的阴极板，该阴极板通过连接机构与射频电源连接，其特征在于所述连接机构包括定位部件、调整偏差部件、至少两块射频电源接口固定板、阴极板接口固定板，所述调整偏差部件连接在两块射频电源接口固定板之间，射频电源接口与阴极板接口由定位部件定位对接，且由调整偏差部件调整对接偏差。