发明名称 | 直拉单晶炉加热装置 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种直拉单晶炉加热装置,包括石墨坩埚、石英坩埚,其中石英坩埚设置在石墨坩埚内,其特征在于:在所述石墨坩埚和石英坩埚之间加垫有石墨纸,其中所述石墨坩埚的外表面形成有条形凹槽。本实用新型提供的直拉单晶炉加热装置不但解决了现有技术使用寿命短、受热效率差的不足的问题,而且还具有结构简单、便于生产的优点。 | ||
申请公布号 | CN201990762U | 申请公布日期 | 2011.09.28 |
申请号 | CN201120043934.5 | 申请日期 | 2011.02.22 |
申请人 | 信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司 | 发明人 | 赵振元;罗明树;刘胜春;姚伟;王明云 |
分类号 | C30B15/14(2006.01)I | 主分类号 | C30B15/14(2006.01)I |
代理机构 | 成都中亚专利代理有限公司 51126 | 代理人 | 陈亚石 |
主权项 | 一种直拉单晶炉加热装置,包括石墨坩埚(1)、石英坩埚(2),其中石英坩埚(2)设置在石墨坩埚(1)内,其特征在于:在所述石墨坩埚(1)和石英坩埚(2)之间加垫有石墨纸(3),其中所述石墨坩埚(1)的外表面形成有条形凹槽(4)。 | ||
地址 | 610051 四川省成都市双林路251号 |