曝光装置及图形形成方法

摘要

本发明是一种曝光装置及图形形成方法，该曝光装置具备：使光束和导向光两者都在同一方向上扫描的曝光光学系统(1)，所述光束利用光开关(9)进行开、关控制，并对玻璃基板(8)照射以进行曝光，所述导向光由不对玻璃基板(8)曝光的波长构成，并与光束的光轴重迭地射出，始终照射在玻璃基板(8)上；与所述导向光的扫描方向正交地设置在该导向光的扫描开始侧，并检测导向光通过的扫描开始时刻的线状传感器(17)；光学系统控制手段(7)，以导向光的扫描开始时刻为基准，控制光开关的开、关，使光束照射在玻璃基板(8)上。

主权项

一种曝光装置，其一边以规定的速度搬送被曝光体，一边使光束在与被曝光体的搬送方向正交的方向上进行扫描，将图形直接曝光到被曝光体上，其特征在于，该装置包括：使光束和导向光两者都在同一方向上扫描的曝光光学系统，所述光束利用光开关进行开、关控制，并对所述被曝光体照射以进行曝光，所述导向光由不对所述被曝光体曝光的波长构成，并与所述光束的光轴重迭地射出，始终照射在所述被曝光体上；在所述被曝光体的输送方向上将所述光束的扫描位置的面前一侧作为摄像位置，拍摄预先在所述被曝光体上形成的成为曝光位置的基准的功能图形的摄像手段；对成为所述基准的功能图形进行照明，使所述摄像手段能进行摄像的照明手段；与所述导向光的扫描方向正交地设置在该导向光的扫描开始侧，并检测所述导向光通过的扫描开始时刻的线状传感器；以及光学系统控制手段，所述光学系统控制手段检测出在用所述摄像手段摄得的所述功能图形上预先设定的基准位置，之后，所述被曝光体移动预先设定的距离时，以所述导向光的扫描开始时刻为基准，控制所述光开关的开、关，使所述光束照射在被曝光体上。