发明名称 |
制造具有通过纳米线接触的导电材料层的电子器件的方法 |
摘要 |
根据本发明的电子器件(100)包括电阻率可在第一值和第二值之间切换的存储材料层(107)。存储材料可以是相变材料。该电子器件(100)还包括一组纳米线(NW),电连接该电子器件(100)的第一端子(172)与存储材料层(107),从而使得能够从第一端子通过纳米线(NW)和存储材料层(107)向电子器件的第二端子(272)传导电流。每一纳米线(NW)在各自的接触面积与存储材料层(107)电接触。所有接触面积实质上相同。根据本发明的方法适于制造根据本发明的电子器件(100)。 |
申请公布号 |
CN101010793B |
申请公布日期 |
2011.09.28 |
申请号 |
CN200580028778.2 |
申请日期 |
2005.06.28 |
申请人 |
NXP股份有限公司 |
发明人 |
罗伯茨·T·F·范沙吉克;普拉哈特·阿佳维;埃里克·P·A·M·贝克斯;马特吉·H·R·兰赫斯特;米哈依尔·J·范杜里恩;亚伯拉罕·R·贝尔克南德;路易斯·F·费尼尔;皮埃尔·H·沃尔里 |
分类号 |
H01L21/768(2006.01)I;H01L45/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/768(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
王波波 |
主权项 |
一种制造电子器件(100)的方法,所述电子器件包括:导电材料层(107),和与导电材料层(107)电连接的一组纳米线(NW),用于通过纳米线(NW)向导电材料层(107)传导电流,每一纳米线(NW)在各自的接触表面与导电材料层(107)电接触,所有接触表面具有实质上相同的表面面积,所述方法包括如下步骤:设置具有一组预制纳米线(NW)的基体(102),对该组预制纳米线(NW)进行材料去除处理,用于获得该组纳米线,其中每一纳米线具有它们各自露出的接触表面,以及向纳米线(NW)设置导电材料层(107),从而将每一纳米线(NW)在各自的接触表面与导电材料层(107)电接触。 |
地址 |
荷兰艾恩德霍芬 |