探针卡

摘要

本发明提供一种探针卡，能够可靠地进行基板与空间转换器的电连接，且可容易以低成本进行维修。本探针卡具备：多个探针，其与半导体晶片接触而进行电信号的输入或者输出；对所述多个探针进行收容保持的探针头；具有与生成检测用信号的电路结构相对应的配线图案的基板；安装在所述基板上对所述基板进行加强的加强构件；插入件，其具有在轴线方向上伸缩自如的多个连接端子以及形成有将所述多个连接端子分别进行收容的多个孔部的壳体，该插入件层叠在所述基板上，且将所述基板的配线进行转接；以及空间转换器，其层叠在所述插入件和所述探针头之间，变换由所述插入件转接的配线的间隔，并表露在与所述探针头侧相对的一侧的表面。

主权项

一种探针卡，其将作为检测对象的半导体晶片和生成检测用信号的电路结构之间电连接，所述探针卡的特征在于，具有：多个探针，其由导电性材料构成，与所述半导体晶片接触而进行电信号的输入或者输出；对所述多个探针进行收容保持的探针头；具有与所述电路结构相对应的配线图案的基板；安装在所述基板上对所述基板进行加强的加强构件；插入件，其具有由导电性材料制成且在轴线方向上伸缩自如的多个连接端子以及由绝缘性材料制成且形成有将所述多个连接端子分别可更换地进行收容的多个带有阶梯的孔部的壳体，该插入件层叠在所述基板上，且通过收容在所述多个具有阶梯的孔部中的所述多个连接端子将所述基板的配线进行转接；空间转换器，其层叠在所述插入件和所述探针头之间，变换由所述插入件转接的配线的间隔，使所述配线露出于与所述探针头相对向的一侧的表面；保持构件，其固定在所述基板上，对所述插入件及所述空间转换器施加压力并予以保持；以及片簧，其固定在所述保持构件上并具有爪部，所述爪部在所述片簧内周均匀设置在所述片簧的整个内周，并在全周上朝所述基板的方向均等地推压所述探针头表面的缘端部附近。