发明名称
摘要
申请公布号 JP4782276(B2) 申请公布日期 2011.09.28
申请号 JP20000340188 申请日期 2000.11.08
申请人 发明人
分类号 H01L27/105;G11C11/22;H01L21/02;H01L21/8246;H01L27/115 主分类号 H01L27/105
代理机构 代理人
主权项
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