| 发明名称 | PECVD设备用气源柜及PECVD设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种PECVD设备用气源柜及PECVD设备。PECVD设备用气源柜，包括：柜体和储气装置，所述柜体上设置有进气口和出气口，所述储气装置与所述进气口连通。通过储气装置与柜体的进气口连通，储气装置能够通过进气口进入到柜体中，而柜体的出气口将连通PECVD设备中炉体，从而使储气装置输出的气体通过柜体注入到炉体中，避免炉体中的有害气体从进口泄漏到外部环境中而造成污染环境，实现通过PECVD设备用气源柜降低PECVD设备污染程度并提高PECVD设备的安全性。 | ||
| 申请公布号 | CN201990725U | 申请公布日期 | 2011.09.28 |
| 申请号 | CN201120041190.3 | 申请日期 | 2011.02.18 |
| 申请人 | 青岛金立盾电子设备有限公司 | 发明人 | 王志盾;徐桂香 |
| 分类号 | C23C16/455(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/455(2006.01)I |
| 代理机构 | 青岛联智专利商标事务所有限公司 37101 | 代理人 | 崔滨生 |
| 主权项 | 一种PECVD设备用气源柜，其特征在于，包括：柜体和储气装置，所述柜体上设置有进气口和出气口，所述储气装置与所述进气口连通。 | ||
| 地址 | 266100 山东省青岛市李沧区合川路9号 | ||