砷化镓晶体生长用双料壁石英玻璃管及其制备方法

摘要

本发明是一种砷化镓晶体生长用双料壁石英玻璃管，其特征在于：所述的石英玻璃管的管壁由区别掺杂原素的二氧化硅材料制成的外壁层和内壁层构成。本发明还公开了上述双料壁石英玻璃管的制备方法。本发明双料壁石英玻璃管原料组合更为合理，它可以大幅度的改善石英坩埚的使用寿命及长晶良率，增加石英坩埚的强度，减少其高温软化现象。本发明石英玻璃管可以用作制造太阳能单晶和多晶生长用坩埚的原料。

主权项

一种砷化镓晶体生长用双料壁石英玻璃管，其特征在于：所述的石英玻璃管的管壁由外壁层和内壁层构成，所述的内壁层由含有以下掺杂原素的二氧化硅材料制成，单位：PPM，Al   6.0‑7.0；       B   0.01‑0.04；        Ca    0.1‑0.5；Cr    0.001‑0.003；   Cu 0.0005‑0.002；    Fe  0.001‑0.03；K     0.01‑0.04；     Li 0.005‑0.02；      Mg     0.005‑0.02；Mn  0.005‑0.02；  Na  0.01‑0.03；         Ni      0.005‑0.02； P   0.01‑0.05      Ti 0.5‑1.2 ；          Zr   0.01‑0.10；所述的外壁层由含有以下掺杂原素的二氧化硅材料制成，单位：PPM，Al  10‑16.2；        B     0.06‑0.08；          Ca      0.1‑0.5；Cr  0.03‑0.05；      Cu  0.03‑0.05；         Fe      0.20‑0.23；K   0.20‑0.60；      Li   0.50‑0.90；         Mg  0.03‑0.05；Mn  0.03‑0.05；      Na    0.5‑0.9；             Ni  0.03‑0.05；P    0.08‑0.10；      Ti 1.2‑1.3；            Zr   1.0‑1.3；外壁层的二氧化硅材料中还含有100‑200PPM的白矽石。