掩模版固定装置

摘要

本发明提出一种掩模版固定装置，包括：方镜，其具有第一支撑底壁和第二支撑底壁，所述第一支撑底壁和第二支撑底壁分别向上延伸至少一突起，每一突起内贯穿一真空口；第一柔性片和第二柔性片，分别置于所述第一支撑底壁和第二支撑底壁上，所述第一柔性片和第二柔性片对应方镜上的各突起分别具有供承载掩模版的支撑凸台，每一支撑凸台开设有与真空口对应的通槽，每一柔性片的通槽内侧壁、靠近通槽内侧壁的部分柔性片底边与方镜上突起的外壁面、靠近突起的外壁面的部分支撑底壁相互粘连，每一柔性片的其他柔性片底边与方镜的各个支撑底壁具有一定间隙。本发明提出的固定掩模版的装置，成本较低，并且能够保证掩模版在固定过程中的变形精度要求。

主权项

一种掩模版固定装置，其特征在于，包括：方镜，其具有第一支撑底壁和第二支撑底壁，所述第一支撑底壁和第二支撑底壁分别向上延伸至少一突起，每一突起内贯穿有一真空口；第一柔性片和第二柔性片，分别置于所述第一支撑底壁和第二支撑底壁上，所述第一柔性片和第二柔性片对应方镜上的各突起分别具有供承载掩模版的支撑凸台，每一支撑凸台开设有与真空口对应的通槽，每一柔性片的通槽内侧壁、靠近通槽内侧壁的部分柔性片底边与方镜上突起的外壁面、靠近突起的外壁面的部分支撑底壁相互粘连，每一柔性片的其他柔性片底边与方镜的各个支撑底壁具有一定间隙。