立式真空镀膜机的基板传输机构装置

摘要

一种立式真空镀膜机的基板传输机构装置，是在腔体内的底部设有驱动构造，又在腔体内的顶部设有导引构造，在驱动构造的各输送轮上设置一玻璃载具，在玻璃载具的顶部凹设一导引沟，导引构造在腔体顶部的底面结合多个朝下延伸的基板支架杆，在各基板支架杆底端结合一基板，又在基板底部设有成排的滚轮，各滚轮可在玻璃载具顶部的导引沟内滑动，从而避免滚轮转动时粉尘掉落污染玻璃基板，并防止溅镀的过程中薄膜附着在滚轮影响滚轮转动，使得传输能够稳定、流畅。

主权项

一种立式真空镀膜机的基板传输机构装置，其特征在于，包括：一腔体，为竖直的壳体并具有前、后面以及左、右两侧，在该腔体内部以贯穿左、右两侧的形态穿设一溅镀空间；一驱动构造，设置在该溅镀空间内的底部，在该腔体底部的顶面结合一沿左、右方向延伸的输送轮支架，在该输送轮支架以左、右间隔的形态结合多个输送轮；一导引构造，设置在该溅镀空间内的顶部，在该腔体顶部的底面以左、右间隔的形态结合多个分别朝下垂直延伸的基板支架杆，在多数个基板支架杆的底端结合一基板，在该基板底面的中间以左、右间隔的形态结合多个朝下凸伸的滚轮座，在各滚轮座底部的周面以可旋转的形态套设一滚轮；以及一玻璃载具，设有一承载外框，其为矩形且竖直设置的框体，该承载外框的底面置放在该输送轮支架的各个输送轮上，该承载外框的顶部凹设一沿左、右方向延伸且贯穿左、右两侧的导引沟，该导引沟容纳导引构造的各个滚轮在内部滚动。