| 发明名称 |
GAS PRESSURE CONTROL ACTUATOR, GAS BEARING MECHANISM FOR THE GAS PRESSURE CONTROL ACTUATOR, AND MINUTE DISPLACEMENT OUTPUT DEVICE USING THE GAS PRESSURE CONTROL ACTUATOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1970572(A4) |
申请公布日期 |
2011.09.28 |
| 申请号 |
EP20060843463 |
申请日期 |
2006.12.27 |
| 申请人 |
PNEUMATIC SERVO CONTROLS LTD. |
发明人 |
SASAKI, KATSUMI;HIRAYAMA, TOMOKO |
| 分类号 |
F15B15/14;F16C32/06;G12B5/00;H01L21/68 |
主分类号 |
F15B15/14 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
