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发明名称 WAFER CLEANING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR101067528(B1) 申请公布日期 2011.09.27
申请号 KR20090120804 申请日期 2009.12.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;H01L21/302;H01L21/673 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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