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发明名称 POWER FEEDING DEVICE FOR MULTI DIVIDED ELECTRODE SET AND PLASMA CHAMBER HAVING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20110105412(A) 申请公布日期 2011.09.27
申请号 KR20100024509 申请日期 2010.03.19
申请人 NEW POWER PLASMA CO., LTD. 发明人 CHOE, SANG DON;CHOI, DAI KYU
分类号 H01J37/32;H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
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